FD-150横向减薄机
仪器名称： FD-150横向减薄机
仪器类型： 封装设备
应用领域： 用于兼容4寸、6寸硅片等样片的自动减薄， 磨削阻力小、磨削均匀。
技术指标：
用于兼容4寸、6寸硅片等样片的自动减薄，样片由真空吸附与磨轮作相反方向旋转运动,磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、磨削均匀、生产效率高，控制精度1μm，重复定位精度3μm，工件进给速率(可调）： 1μm -5mm/min；同时横向减薄机设备可自动对刀、实际检测磨削扭力、自动调节样片磨削速度，从而防止样片磨削过程中因应力过大产生变形及破损，并可自动补偿砂轮磨损厚度尺寸。
仪器品牌：
仪器型号： FD-150
仪器厂家： 厦门伟达信生物科技有限公司
仪器设备所属平台： 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台
