SUPRA 55 场发射扫描电子显微镜
仪器名称： SUPRA 55 场发射扫描电子显微镜
仪器类型： 测试设备
应用领域： 适用于各种样品的微观形貌观察和分析，结合EDS能谱仪可进行样品微区成分定性和定量以及元素分布分析。
技术指标：
1、分辨率：0.8nm@15kV，1.6nm@1kV，2.0nm@30kV（VP mode）。2、放大倍数：12~1,000,000×。3、加速电压：0.02 ~30kV。4、探针电流：4pA~20nA（12pA~100nA可选）。5、样品室：Φ330mm×270mm。6、样品台：五轴优中心全自动型，X = 130mm，Y = 130mm，Z = 50mm，T=-3to70°，R=360°连续旋转。7、系统控制：基于Windows的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制。
仪器品牌： 蔡司
仪器型号： SUPRA55
仪器厂家： 蔡司光学仪器公司
仪器设备所属平台： 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院 微电子/石墨烯加工测试平台
